Wanneer de lengte in één richting kleiner is dan de lengte in de andere twee richtingen, wordt deze structuur een dunne film genoemd. Tegenwoordig is de voortdurende toepassing van micro-elektronische films, optische films, anti-oxidatiefilms, gigantische magnetoresistieve films, supergeleidende films bij hoge- temperaturen, enz. in de industriële productie en het menselijk leven, de dikte van films die in de industrie worden geproduceerd een zeer belangrijke parameter, die rechtstreeks verband houdt met de vraag of het filmmateriaal normaal kan werken.
Normaal gesproken verwijst de dikte van de film naar de afstand tussen het oppervlak van het substraat en het oppervlak van de film. In feite is het oppervlak van de film ongelijkmatig en discontinu, en er zijn gaatjes, microscheurtjes, vezelfilamenten, onzuiverheden, roosterdefecten en moleculen die op het oppervlak zijn geadsorbeerd. Verschillende dunne films in het productieproces van grootschalige geïntegreerde schakelingen zullen bijvoorbeeld een directe impact hebben op de prestaties van geïntegreerde schakelingen vanwege de voortdurende verbetering van de mate van circuitintegratie en eventuele kleine veranderingen in de dikte van de dunne film. Bovendien hangen de mechanische eigenschappen, lichttransmissie-eigenschappen, magnetische eigenschappen, thermische geleidbaarheid, oppervlaktestructuur, enz. van de dunne-filmmaterialen nauw samen met de dikte. Daarom is het nauwkeurig online meten van de filmdikte in het productieproces een belangrijk middel om de productkwaliteit te garanderen en de productie-efficiëntie te verbeteren.
Voor het nauwkeurig meten van de filmdikte is het afhankelijk van het soort diktesensor dat wordt gebruikt. Momenteel zijn er voornamelijk verschillende methoden voor online filmdiktedetectietechnologie:
1. Beta-sonde is de eerste sensor die wordt gebruikt voor dunnefilmdetectie. Het gebruikt een bètastralingsbron als signaalbron en de technologie is volwassen. Voor het gebruik van radioactieve bronnen is echter een vergunning nodig en de import- en exportprocedures zijn relatief ingewikkeld. Er is een levensduurlimiet van de helft- en de detectienauwkeurigheid zal afnemen naarmate de radioactieve bron zwakker wordt.
2. Infraroodsondes gebruiken het principe dat specifieke infraroodbanden sterk worden geabsorbeerd in specifieke plastic films om de dikte van de film te meten. De sensor is stabiel in detectie en wordt niet beïnvloed door veranderingen in de omgeving, maar is wel gevoelig voor veranderingen in additieven en kleuren en is niet geschikt om meerdere producten op dezelfde productielijn te produceren.
3. De röntgensonde gebruikt de röntgenbuis om röntgenstraling- te genereren als signaalbron om de dikte van de plastic film te detecteren. Er zijn veel voordelen: het vliegen met radioactief materiaal; lage energie vereist geen vergunning; een breed meetbereik; hoge meetnauwkeurigheid; alle soorten kunststoffen kunnen worden gemeten zonder beïnvloed te worden door additieven en kleurmasterbatch.
Momenteel heeft het filmdiktemeetinstrument zich ontwikkeld tot hoge precisie en automatisering en heeft het een zeer hoog niveau bereikt. De meetnauwkeurigheid bedraagt ±2% tot ±5% van de gemeten filmdikte voor de algemene filmlaag, en ±2 nm voor de dunne film, en heeft een microgebiedmeetfunctie, hoge meetsnelheid en een hoge mate van automatisering. Vooral met de vooruitgang van de technologie en de toepassing van precisie-instrumenten kan, naast de bovengenoemde detectietechnologiemethoden, de dikte van de film ook worden gemeten door een ultrasone sensor. De MaxBotix ultrasone sensor aanbevolen door Gongcai-MB7480 is een krachtige ultrasone precisie-afstandsmeter die ultrasone afstandsmetingen met hoge nauwkeurigheid en hoge resolutie in de lucht mogelijk maakt.
